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概述：
变螺距螺杆式真空泵是我公司根据市场需求自主研发的技术先进的干式真空泵。因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内无油，因此螺杆真空泵在半导体、电子工业中要求无油洁净真空的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优势，可广泛替代旋片式真空泵，滑阀式真空泵，水环式真空泵，水喷射真空泵，往复式真空泵，罗茨水环真空机组等。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
我公司变螺距螺杆真空泵具备以下特点：
· 结构紧凑，占地面积小。
· 结构简单，维修方便。泵的维修及保养无需专用工具。
· 单泵即可达到30Pa~5Pa的极限压力，工作范围较宽。
· 根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组，大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。
· 泵腔内无油，对被抽系统无污染，可获得洁净真空。
· 泵腔内无油，容易实现对溶剂的回收。
· 泵腔及螺杆表面有镀镍层、哈氏合金涂层、PFA涂层、PEKK涂层、不锈钢+PFA复合涂层等可供选择，可抽除水蒸汽、氨气、甲醇、丙酮、二氯甲烷等多种介质。
· 因工作过程中无废油、废水的排放，对环境无污染。
· 对冷却水的要求较低，对于泵的冷却，普通的循环水(脱盐水)即可满足要求，且冷却水量较小。
· 清洗方便。如泵腔内进入污物需清洗时，只需打开泵的吸排气口，开启泵后从泵的吸气口加入适量的水或清洗剂即可将泵清洗干净，无需拆卸整台泵。
· 因螺杆加工工艺复杂且需根据客户使用工艺配套复杂的电控系统，因此螺杆真空泵价格较高。
· 相比等螺距螺杆真空泵，变螺杆螺杆真空泵更适合于在较低压力下(低于绝压30kPa)连续工作，且运行功率低，发热量小，噪音小，在抽除酯类等介质时不易积炭。
· 采用了我公司的专利技术(专利号：Z·2015 2 0592475.4)对螺杆进行了冷却，可将排气温度进一步降低30~50℃，在特殊工况下不易积炭;因排气温度较低，杜绝了排气侧机械密封被高温气体烧毁的现象。
· 采用了内压溢流阀结构，消除了吸入压力较高时的过压缩现象，减小了高压力工作区的功率损耗。
· 采用了下侧排气结构，避免了凝液回流对螺杆真空泵脉动排气时的冲击。
变螺距螺杆真空泵性能参数表
|
型号 |
抽气速率L/s |
名义抽速L/s |
泵转速 |
极限压力Pa |
噪音dB |
电机功率kW |
进气口直径mm |
排气口直径mm |
|
干螺杆-30 |
30 |
45 |
2900 |
≤10 |
≤74 |
4 |
40 |
40 |
|
干螺杆-50 |
50 |
65 |
2900 |
≤10 |
≤77 |
5.5 |
50 |
40 |
|
干螺杆-70 |
70 |
90 |
2900 |
≤10 |
≤78 |
7.5 |
50 |
50 |
|
干螺杆-100 |
100 |
135 |
2900 |
≤10 |
≤81 |
11 |
65 |
50 |
|
干螺杆-180 |
180 |
250 |
2900 |
≤10 |
≤81 |
18.5 |
100 |
80 |
|
干螺杆-300 |
300 |
350 |
2900 |
≤10 |
≤82 |
30 |
125 |
80 |
|
干螺杆-500 |
500 |
650 |
1480 |
≤10 |
≤83 |
55 |
150 |
125 |
|
干螺杆-800 |
800 |
1000 |
1480 |
≤10 |
≤84 |
75 |
200 |
125 |
注：因螺杆真空泵在抽除带有粉尘的，易积炭的，有腐蚀性介质的工况下必须做相应的针对性方案，请务必在订货时提供螺杆真空泵的使用条件：a.被抽除的介质组成;b.工作压力;c.是否有积炭倾向;d.抽除介质中是否有粉尘;e.抽除介质中是否夹带液体。
工作原理：
如图所示，螺杆真空泵内装有一对平行的互相啮合的螺旋状的转子(1和2)，其中一件转子的旋转方向为右旋，另一件为左旋。两个转子在泵体(9)内通过一对齿轮(3)保持同步反向旋转。转子与转子之间、转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔(4)，密封腔的个数等于转子的螺旋圈数。
两个转子在按图中方向旋转时，与吸气口(5)相连的密封腔的空间逐渐变大，气体被吸入并被传送到排气侧，排气侧的密封腔(6)空间在旋转过程中逐渐变小，气体被压缩到排气口(7)。
长时间运转时需向泵体及端盖的夹套(8)内通入适量的冷却水以对泵进行冷却。
因压缩热主要在排气侧(6)产生，为了充分冷却转子，在多数工况下可以将适量的空气或其它合适的气体通过掺气口(10)导入泵腔内。
为使螺杆的温度进一步降低，通过(11)(12)在螺杆内部通入冷却水，可使螺杆温度降低30~50℃，从而使两件螺杆之间保持较为恒定的间隙，保证稳定的性能。对高温下容易腐蚀泵的，高温下易积炭的工况，采用螺杆内部冷却后可明显提高泵的使用寿命。
因变螺距螺杆真空泵在气体传输过程中有内压缩，在对系统进行预抽真空或长时间在较高压力(例如大气压力~-0.05MPa)区间工作时，变螺距螺杆真空泵容易出现过压缩现象，我公司的LGB真空泵可将已经达到排气压力的气体从(13)排出，从而降低泵的功率损耗。
外形尺寸图：
性能曲线图：
