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螺杆真空泵
图文详情
概述:
LGB系列变螺距螺杆式真空泵是我公司根据市场需求自主研 发的技术先进的干式真空泵。因螺杆真空泵无需油润滑或水密封,泵腔内无油,因此螺杆真空泵在半导体、电子工业中要求无油洁净真空的场合以及化工制 药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优势,可广泛替代旋片式真空泵,滑阀 式真空泵,水环式真空泵,水喷射真空泵,往复式真空泵,罗茨水环真空机组等 。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵,多个导程的螺杆真 空泵相当于多级泵串联,相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式 真空泵而言,因螺杆真空泵的各级之间无内部通道,而是直接将气体从吸气侧推 送至排气侧,因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清 洗方便。
我公司变螺距螺杆真空泵具备以下特点:
· 结构紧凑,占地面积小。
· 结构简单,维修方便。泵的维修及保养无需专用 工具。
· 单泵即可达到30Pa~5Pa的极限压力,工作范围较 宽。
· 根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式 真空泵机组,大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。
· 泵腔内无油,对被抽系统无污染,可获得洁净真 空。
· 泵腔内无油,容易实现对溶剂的回收。
· 泵腔及螺杆表面有镀镍层、哈氏合金涂层、PFA 涂层、PEKK涂层、不锈钢+PFA复合涂层等可供选择,可抽除水蒸汽、氨气、甲醇 、丙酮、二氯甲烷等多种介质。
· 因工作过程中无废油、废水的排放,对环境无污 染。
· 对冷却水的要求较低,对于泵的冷却,普通的循 环水(脱盐水)即可满足要求,且冷却水量较小。
· 清洗方便。如泵腔内进入污物需清洗时,只需打 开泵的吸排气口,开启泵后从泵的吸气口加入适量的水或清洗剂即可将泵清洗干 净,无需拆卸整台泵。
· 因螺杆加工工艺复杂且需根据客户使用工艺配套 复杂的电控系统,因此螺杆真空泵价格较高。
· 相比等螺距螺杆真空泵,变螺杆螺杆真空泵更适 合于在较低压力下(低于绝压30kPa)连续工作,且运行功率低,发热量小,噪音小 ,在抽除酯类等介质时不易积炭。
· 采用了我公司的专利技术(专利号: Z·2015 2 0592475.4)对螺杆进行了冷却,可将排气温度进一步降低30~50 ℃,在特殊工况下不易积炭;因排气温度较低,杜绝了排气侧机械密封被高温气体 烧毁的现象。
· 采用了内压溢流阀结构,消除了吸入压力较高时 的过压缩现象,减小了高压力工作区的功率损耗。
· 采用了下侧排气结构,避免了凝液回流对螺杆真 空泵脉动排气时的冲击。
LGB系列变螺 距螺杆真空泵性能参数表
型号 |
抽气速率L/s |
名义抽速L/s |
泵转速 |
极限压力Pa |
噪音dB |
电机功率kW |
进气口直径mm |
排气口直径mm |
LGB-30 |
30 |
45 |
2900 |
≤10 |
≤74 |
4 |
40 |
40 |
LGB-50 |
50 |
65 |
2900 |
≤10 |
≤77 |
5.5 |
50 |
40 |
LGB-70 |
70 |
90 |
2900 |
≤10 |
≤78 |
7.5 |
50 |
50 |
LGB-100 |
100 |
135 |
2900 |
≤10 |
≤81 |
11 |
65 |
50 |
LGB-180 |
180 |
250 |
2900 |
≤10 |
≤81 |
18.5 |
100 |
80 |
LGB-300 |
300 |
350 |
2900 |
≤10 |
≤82 |
30 |
125 |
80 |
LGB-500 |
500 |
650 |
1480 |
≤10 |
≤83 |
55 |
150 |
125 |
LGB-800 |
800 |
1000 |
1480 |
≤10 |
≤84 |
75 |
200 |
125 |
注:因螺杆真空泵在抽除带有粉尘的,易积炭的,有腐蚀性介 质的工况下必须做相应的针对性方案,请务必在订货时提供螺杆真空泵的使用条 件:a.被抽除的介质组成;b.工作压力;c.是否有积炭倾向;d.抽除介质中是否有粉 尘;e.抽除介质中是否夹带液体。
工作原理:
如图所示,螺杆真空泵内装有一对平行的互相啮合的螺旋 状的转子(1和2),其中一件转子的旋转方向为右旋,另一件为左旋。两个转子在 泵体(9)内通过一对齿轮(3)保持同步反向旋转。转子与转子之间、转子与泵体之 间没有磨擦且保持一定的间隙,两个转子与泵体之间形成了密封腔(4),密封腔的 个数等于转子的螺旋圈数。
两个转子在按图中方向旋转时,与吸气口(5)相连的密封腔 的空间逐渐变大,气体被吸入并被传送到排气侧,排气侧的密封腔(6)空间在旋转 过程中逐渐变小,气体被压缩到排气口(7)。
长时间运转时需向泵体及端盖的夹套(8)内通入适量的冷却 水以对泵进行冷却。
因压缩热主要在排气侧(6)产生,为了充分冷却转子,在多 数工况下可以将适量的空气或其它合适的气体通过掺气口(10)导入泵腔内。
为使螺杆的温度进一步降低,通过(11)(12)在螺杆内部通 入冷却水,可使螺杆温度降低30~50℃,从而使两件螺杆之间保持较为恒定的间隙 ,保证稳定的性能。对高温下容易腐蚀泵的,高温下易积炭的工况,采用螺杆内 部冷却后可明显提高泵的使用寿命。
因变螺距螺杆真空泵在气体传输过程中有内压缩,在对系 统进行预抽真空或长时间在较高压力(例如大气压力~-0.05MPa)区间工作时,变螺 距螺杆真空泵容易出现过压缩现象,我公司的LGB真空泵可将已经达到排气压力的 气体从(13)排出,从而降低泵的功率损耗。
外形尺寸图 :
性能曲线图 :
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